Tytuł artykułu

Conductive atomic force microscope for investigation of thin-film gate insulators

Tytuł czasopisma

Bulletin of the Polish Academy of Sciences Technical Sciences

Rocznik

2008

Wolumin

vol. 56

Numer

No 1

Autorzy

Wielgoszewski, G. ; Gotszalk, T. ; Woszczyna, M. ; Zawierucha, P. ; Zschech, E.

Słowa kluczowe

AFM ; conductive probe ; thin-film oxides annealing

Wydział PAN

Nauki Techniczne

Zakres

39-44

Data

2008

Typ

Artykuły / Articles

Identyfikator

ISSN 2300-1917

Źródło

Bulletin of the Polish Academy of Sciences: Technical Sciences; 2008; vol. 56; No 1; 39-44